干螺杆真空泵以其优越的性能

  干螺杆真空泵以其优越的性能在欧美和日本已成为微电子、半导体、制药、加工等行业的真空获取设备，而日本在螺杆压缩机的基础上，很早就研制出多管真空泵转子线，并投入市场。多家德国真空设备公司也逐步开发出等螺距、变螺距转子型线，并对旋翼、机身冷却进行了多项关键技术研究。

真空泵是一种抽气设备，工业上对它的要求多种多样，有多种形式的真空泵，二十世纪的主要产品是膜式泵和密封泵，这类泵排出油雾，对环境造成严重污染；仅有少数工业有特殊要求，才采用无油泵类或水环泵类(湿式泵)，此类泵真空度不高，耗水量大，有干式要求，须采用物理、化学吸附，冷凝低温，成本高昂，膜式泵真空度不高，抽气难，抽气难，成本高，液氮成本高，总之，能直接排入大气和高真空机组连接的泵各有不足，干式泵不适合大工业应用，直到二十世纪八十年代，一种爪式泵难做大，制作难，成本高；另外一种罗茨泵的缺点与爪式泵相似。

干螺杆真空泵是利用一对螺杆转子在泵壳内同步高速反向旋转，产生吸气排气作用的一种容积泵，主要用于高纯净真空处理过程，其真空度高，能适应恶劣的工作环境，具有抽凝、含微粒气体的才能，尤其适用于电子、化工、生物医药、金属、食品等行业。

双螺杆式真空泵在工作时，由于两转子相对高速旋转，需要在转子和转子之间以及泵腔之间留出一定的间隙，以免产生摩擦。但螺杆式真空泵在使用过程中，排气温度高，这也导致螺杆式真空泵温度高，形成转子和壳体变形，转子和壳体之间以及转子和泵腔之间的空隙会发生变化，影响抽气效果，严重时会使抽气摩擦加剧，终烧结卡壳体。

本实用新型与现有技术相比，具有如下优点：

1、螺杆转子与螺杆转子之间以及螺杆转子与壳体之间的间隙依次沿进气端至排气端的方向减小，使螺杆转子在稳定工作后有足够的收缩空间，防止螺杆转子卡壳，并且在收缩后它们之间的间隙更小，减少气体的走漏量和真空度。

2、螺杆转子采用相同的螺纹小径，螺纹大径沿进气端向排气端依次减小的设计，既降低了加工难度，又节省了消耗资金，而且在稳定工作时，螺杆转子之间的间隙较小，较平均，减少了漏气。

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