螺旋真空泵在使用中经常要用氮气来填充,主要是因为用氮气吹净泵,能够延缓泵的腐蚀性气体的腐蚀,从而起到很好的保护作用。
为什么螺旋真空泵要使用氮气,可以归纳如下几个原因:
1.螺杆真空泵内冲入氮气的目的是在真空泵的内壁形成微弱的保护气膜,氮气的压力不能太大,也不能太小,过大会影响抽真空效果,增加能耗;
2.抽腐蚀性气体的泵使用氮气,氮气吹净泵,延缓泵的腐蚀性气体腐蚀。
在真空镀膜过程中使用的某些气体对螺杆真空泵有腐蚀作用,所以将使用这种泵。但墙内通氮与泵用的是分开的。
4.冲氮单位数时,可涂出所需颜色。一些颜色使用乙炔。实际上,大多数情况下使用的是氩。
5.气密性,稀释工艺气体。防腐蚀和贴合工艺。
6.氮气在特定温度、压力或催化剂等辅助条件下,很难与外界反应。所以在清洗泵系统时,采用氮气吹扫,更加安全可靠。
7.氮气吸附热小,在物体表面吸附的时间短。在螺杆真空泵中,当氮气被吸附在器壁表面时,很容易被抽除。在真空系统清洁过程中,氮气净
化正式利用其这一特性。用干氮气吹扫清洗过真空系统后,在真空镀膜中,氮分子将首先吸附在真空系统的器壁上。因为器壁表面的吸附位是一定的,氮气分子沾满以后,其他分子如水分子等将变少。从而大大缩短了真空系统的抽气时间。
氮是一种稳定、无害的气体,可以对螺杆真空泵起到良好的保护作用,有效延长使用寿命,减缓腐蚀问题。